多自由度技術為提升產能注入動力
一個可測定六個自由度的編碼器
可傳遞精度技術保障規格精度
MRP 8000 雙讀頭角度編碼器
高階運動控制系統打造全新可能
為半導體與電子產業提供更精確更高性能的ETEL運動平台
可精確測量任何軸的直線與角度編碼器
來自海德漢、NUMERIK JENA、與 RSF的高精度、精巧、量身打造的編碼器
生產設備的精度對於製造的零件的性能起著至關重要的作用，特別是在電子和半導體製造業。當今電腦晶片的記憶體和運算能力取決於前段和後段製程能力的精度表現，包括混合鍵合和先進封裝。
WINGLET軟體
如何輕鬆優化高度複雜的運動系統？採用ETEL開發的WINGLET軟體。無論是在初始設置期間還是在半導體和電子元件生產設施中使用時進行測試和重新調整，它都能確保完美的系統設定以實現最佳性能。
CHARON2 HD 和 Z3TM+
高動態 CHARON2 HD 運動系統和 Z3TM+ 模組的相互作用下，可實現更高的生產力與精度。這種組合提供了六個自由度的運動控制和一個特殊的升降機構，可以更輕鬆地取出晶圓。
採用我們的多自由度技術設計的編碼器，可提供多個自由度的位置反饋。這種額外的反饋顯著提高量測精度，使您能夠偵測和補償其他方向的運動，否則會影響您的系統。採用這項創新技術的編碼器包括我們的PP 6000 Dplus雙座標編碼器、LIP 6000 Dplus光學尺和GAP 1000間隙量測編碼器。
阿貝(Abbé)誤差對工具機精度有負面影響，量測通常很困難，但使用PP 6000 Dplus雙座標編碼器則不會。此編碼器使用單個掃描頭，可在464 mm x 464 mm的區域內同時量測兩個方向，還可根據要求提供更大的區域。通過直接量測刀具中心點，您可以最大限度減少阿貝誤差並提高工具機精度。其雙位置反饋使用EnDat 3介面通過單一電纜傳輸，從而減少佈線和設定工作。使用PP 6000 Dplus最佳化運動系統的動態行為。
LIP 6000 D plus的尺身上刻有沿正負45°對角線刻畫的特殊兩列式光柵搭配可掃描個別光柵的特殊讀頭，就能直接且精確地進行主要方向X與次要方向Y的全行程量測。透過EnDat3，兩個位置值可經由單一線材傳到控制端，這顯著減少配線、簡化安裝 及優化運動系統動態性能
使用我們基於LIP 6000 Dplus的校正工具，隨時檢查和調整您的工具機。校正您的工具機並不是一項日常活動，因此海德漢也提供租用工具這項服務，而無需購買和維護您自己的工具。我們經過認證的校正工具係根據需要檢查系統準確性的便捷方法。
GAP 1081是海德漢第一款間隙編碼器，它可測量特殊鏡片與讀頭間的垂直間隙。因此 ，GAP 1081可應用於簡易垂直定位任務，或與LIP 6000D plus這類直線光學尺平行安裝，來作直線軸向的連續垂直量測。GAP1081反射鏡量測行程可達3米，當二個讀頭配置於同一鏡面時，軸向的俯仰角(pitch)及偏航角(yaw)皆可測得
海德漢MRP角度編碼器模組+ETEL扭力馬達迸出新火花，不同凡響的平滑運動控制，不受齒槽轉矩與徑向力妨害的高軸承導軌精度。也可提供SRP 5000角度編碼器模組，極扁平、高剛性緊湊型系統高剛性零件，確保在不同負載下一致的精度
電子和半導體製造是一個充滿活力的行業。海德漢通過不斷開發開放式編碼器實現了快速變革。這就催生了ERO 2000增量式角度編碼器，該編碼器專為狹小空間和高動態性能要求而設計，如檢流計光學掃描器中的那樣。ERP 1000也是如此，其具有不同凡響的高精度與解析度。ERP 1080 Dplus是其改版之一，具有四個掃描頭，具有與MRP 8081 Dplus角度編碼器模組相同的堅固性和安裝優勢。
