Virtuelle Messe | SEMICONDUCTORS & ELECTRONICS

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Das HEIDENHAIN Digital Event für die Halbleiter- und Elektronikindustrie findet im Juli 2021 online auf dieser Microsite und live mit persönlichen Webex-Vorführungen statt. Entdecken und erleben Sie zahlreiche Neuheiten und Highlights, die auch für Ihre Fertigungslösungen neue Möglichkeiten eröffnen.

So viel Genauigkeit erreichen Sie mit einem Messgerät, das bis zu 6 Freiheitsgrade erfasst

Entdecken Sie Messgeräte wie das LIP 6000 Dplus oder das neue GAP 1000, die nicht nur in ihrer Hauptmessrichtung die Position ermitteln, sondern auch Veränderungen in weiteren Freiheitsgraden messen. Diese zusätzlich erfassten Daten sorgen für eine deutlich höhere Genauigkeit der Messung. Denn sie machen Abweichungen in anderen Messrichtungen sichtbar, die sich auf das komplette System auswirken und jetzt dank MULTI-DOF TECHNOLOGY kompensiert werden können.

LIP 6000 Dplus – 1 Maßstab, 1 Abtastkopf,
2 Freiheitsgrade

Beim LIP 6000 Dplus befinden sich auf dem Teilungsträger zwei separate Maßverkörperungen. Deren Teilungen sind diagonal mit einem Winkel von +45° bzw. -45° aufgebracht. Ein spezieller Abtastkopf mit jeweils einem Abtastfeld pro Maßverkörperung kann so über die gesamte Messlänge nicht nur die Hauptmessrichtung X, sondern auch die Nebenmessrichtung Y direkt und hochgenau erfassen. Die beiden gemessenen Positionswerte werden über die EnDat 3-Schnittstelle mit nur einem Kabel an die Steuerung übertragen. Das reduziert deutlich die Anzahl der Kabel sowie den Montage-Aufwand und optimiert zugleich das dynamische Verhalten des Bewegungssystems.

GAP 1081 – Out-of-Plane-Abstandsmessung

Das neue GAP 1081 ist das erste Abstandsmessgerät von HEIDENHAIN. Es ermittelt die Distanz zwischen dem verspiegelten Maßstab und dem Abtastkopf. Damit eignet sich das GAP 1081 einerseits für einfache Positionieraufgaben in vertikaler Richtung. In Kombination mit einem parallel montierten Längenmessgerät wie z. B. dem LIP 6000 Dplus können aber auch kontinuierliche Messungen durchgeführt werden. Dazu stehen bis zu 3 m lange Spiegelmaßstäbe zur Verfügung. Durch die Anordnung von zwei Abtastköpfen auf einem Spiegel erfasst das GAP 1081 Neigen und Kippen der jeweiligen Achse.

Bringen Sie die Genauigkeit des Messgeräts ohne großen Montageaufwand in Ihre Applikation

Ein Messgerät wie das Winkelmessmodul MRP 8000 ist die perfekte Lösung für hochgenaue Rundachsen und eine interessante Alternative zu Luftlagern. Dank TRANSFERABLE ACCURACY bringt es die spezifizierte Genauigkeit einfach und sicher in Ihre Applikation: ohne große Aufwände für Montage und Justage, ohne Abgleich von Einzelkomponenten. Denn diese Aufgaben hat HEIDENHAIN bereits für Sie übernommen. So können Sie sich ganz auf Ihre Kernkompetenzen konzentrieren und hochgenaue Maschinen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung entwickeln.

MRP 8000 – Die Messgeräte-Genauigkeit für Ihre Applikation erhalten

Trotz zertifizierter Genauigkeit und Messprotokoll – der Anbau in der Applikation kann die wertvolle Genauigkeit des Messgeräts beeinträchtigen. Die Ursachen sind vielfältig, z. B. weiche Anbauteile. Das MRP 8000 mit TRANSFERABLE ACCURACY sorgt dafür, dass seine spezifizierte Genauigkeit ankommt:

  • mit einer sehr robusten Lagereinheit
  • mit einem zweiten Abtastkopf
  • mit einem Satz Kalibrierdaten für Ihre Steuerung

So erreicht das MRP 8000 in der Applikation eine Systemgenauigkeit von bis zu ±0,1 Winkelsekunden – unbeeindruckt von der Anbausituation und äußeren Einflüssen wie Vibrationen, Schockbelastungen oder Temperaturschwankungen. Das erhöht nicht nur die Genauigkeit, sondern auch die Performance. Denn Sie können die Antriebsgeschwindigkeiten des Motors ohne Genauigkeitsverlust erhöhen.

Belastbare Achsen – Unbeeinflusst von Rastmomenten und Querkräften

Die Kombination aus dem HEIDENHAIN-Winkelmessmodul MRP mit einem Torquemotor von ETEL ermöglicht eine außerordentlich gleichmäßige Bewegungsführung. Weder störende Rastmomente noch Querkräfte beeinflussen die hohe Führungsgenauigkeit der Lagerung. Außerdem steht mit den Winkelmessmodulen vom Typ SRP 5000 ein besonders kompaktes System mit geringer Bauhöhe und hoher Steifigkeit zur Verfügung. Gerade durch die hohe Steifigkeit aller Komponenten bleibt die Genauigkeit auch bei wechselnden Belastungsfällen erhalten.

Heben Sie Ihre Halbleiter- und Elektronikfertigung auf ein neues Level: High-End-Bewegungssystemen von ETEL

ETEL-Stages für das Front- und Back-End in der Halbleiterfertigung oder die Elektronikfertigung eröffnen neue Möglichkeiten bei Genauigkeit, Dynamik und Prozesssicherheit. Im Zusammenspiel mit hochgenauen HEIDENHAIN-Messgeräte ermöglichen sie die Herstellung von leistungsfähigeren Chips und kompakteren Elektronikbaugruppen in kürzerer Zeit. Und legen somit den Grundstein für die nächste Halbleiter-Generation. Entdecken Sie die Möglichkeiten in unserer Videogalerie:

Solide, genau und dynamisch: Die CHARON2 XYT für Ihre Halbleiterfertigung

Wenig Platzbedarf, hohe Tragfähigkeit: Die VULCANO2 für Ihre Wafer-Fertigung

Bewegungssysteme für Rundachsen: Hochdynamisches Turret Handling

Direktantriebe ohne Limit: Linear- und Torquemotoren von ETEL

Perfekt kombiniert: Die CHARON2 XT mit ETEL Antrieben und HEIDENHAIN Messsystemen

Kommunikation in Echtzeit: Die UltimET Bewegungssteuerung für leistungsstarke Achsen

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Das HEIDENHAIN Digital Event für die Halbleiter- und Elektronikindustrie findet im Juli 2021 online auf dieser Microsite und live mit persönlichen Webex-Vorführungen statt. Entdecken und erleben Sie zahlreiche Neuheiten und Highlights, die auch für Ihre Fertigungslösungen neue Möglichkeiten eröffnen.

Busbetrieb mit EnDat 3: Einfach, schnell und kostengünstig

EnDat 3 ist die optimale Messgeräteschnittstelle für eine hohe Systemintegration und die Anforderungen der digitalisierten Zukunft – auch im Busbetrieb. So reduzieren Sie den Verkabelungsaufwand und können umfassende Möglichkeiten zur Diagnose nutzen, also die Sicherheit und Zuverlässigkeit Ihrer Anlagen im Betrieb steigern. Die universelle und umfassende Kommunikation von EnDat 3 erlaubt neben der Übertragung von Positionsdaten auch die Übermittlung von Sensordaten, Daten aus dem Systemmonitoring und zur automatischen Systeminstallation.

Offene HEIDENHAIN Messgeräte für hochdynamische Rundachsen:
ERO 2000 und ERP 1000

Die Halbleiter- und Elektronikindustrie ist eine hochdynamische Branche. Den rasanten Veränderungen trägt HEIDENHAIN mit entsprechenden Entwicklungen im Bereich der offenen Messgeräte Rechnung. So ist das inkrementale Winkelmessgerät ERO 2000 entstanden: speziell für Anwendung mit sehr kleinem Einbauraum und zugleich hohen dynamischen Anforderungen, wie sie z. B. Galvanoscanner stellen. Oder das ERP 1000 mit seiner sehr hohen Genauigkeit und Auflösung.

LIC 3000 – Das offene HEIDENHAIN Messgerät für hochdynamische Linearachsen

Die Baureihe LIC 3000 erweitert das bereits bekannte Programm der offenen, absoluten Längenmessgeräte LIC 4000 und LIC 2000. Dafür kombiniert das LIC 3000 sehr kleine Messschritte von 10 nm mit hohen Verfahrgeschwindigkeiten bis 600 m/min. So ermöglichen die LIC 3000-Längenmessgeräte die sehr dynamische und zugleich hochgenaue Positionsmessung an Linearachsen mit Messlängen bis 10 m.

Das große Abtastfeld macht das LIC 3000 dabei besonders unempfindlich gegenüber Verschmutzungen. Lokale Verunreinigungen der Maßverkörperung haben kaum Einfluss auf die Signalqualität und somit auf die Zuverlässigkeit der Messwerte. Durch ihre Dynamik, die großen Messlängen und die Robustheit sind die offenen Längenmessgeräte der Baureihe LIC 3000 besonders flexibel in der Anwendung und machen die LIC-Vorteile in weiteren Applikationen nutzbar.

Ultrakleine Längenmessgeräte: LIKgo and LIKselect von NUMERIK JENA

LIKgo und LIKselect: Die beiden offenen Längenmessgeräte von NUMERIK JENA eignen sich besonders für den Einsatz in beengten Einbausituationen. Und erfüllen hohe Genauigkeitsanforderungen. 

Das Standardprodukt LIKgo ist besonders klein und leicht, sein Abtastkopf ist nur 28 mm x 13 mm x 7,5 mm groß und wiegt nur 10 g. Die neu entwickelte 2-Feld-Abtastung ist mit 20 µm Teilungsperiode und Messschritten bis 78,125 nm sehr genau, liefert eine hohe Signalqualität und ist sehr robust gegenüber Verschmutzungen. 
Für kundenspezifische Auslegungen ergänzt das LIKselect diese Vorteile um die Stärken der Kit L-Serie von NUMERIK JENA: Messgeräte aus dem LIKselect-Baukasten sind im besonderen Maße individuell konfigurierbar.

Für hochdynamische Direktantriebe: Modulare Messgeräte von RSF für maximale Flexibilität

Durch ihren modularen Aufbau bieten die Lösungen von RSF maximale Flexibilität bei der Integration von Längen- und Winkelmessgeräten in Ihre Systeme. Dazu gehört eine große Vielfalt an Schnittstellen zu allen gängigen Steuerungen ebenso wie die Vielfalt an mechanischen Ausführungen. Profitieren Sie außerdem von den großen Montagetoleranzen und dem damit verbundenen, sehr einfachen Anbau der Messgeräte.

Sie möchten noch mehr Lösungen für Ihre Halbleiter- und Elektronikfertigung entdecken?