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HEIDENHAINデジタルイベントでは、リアルタイムで個別のWebexプレゼンテーションも用意し、このマイクロサイト上で2021年7月に開催します。お客様の製造ソリューションにおいて新しい可能性を創造する多くの見どころとイノベーションをご紹介します。

最大6自由度を測定するエンコーダにより新次元の精度を実現

LIP 6000 Dplusや新製品のGAP 1000など、1自由度以上の測定を可能にするエンコーダをご紹介します。MULTI-DOF TECHNOLOGYのフィードバックにより、測定精度が大きく向上し、システムに関連した位置誤差を多次元で検知し、補正することが可能です。

LIP 6000 Dplus : 1本のスケール、1 個の走査ヘッドで2 自由度

LIP 6000 Dplus は1本のスケール本体に斜め45°と-45°の目盛トラック2個を搭載しています。各目盛ごとに走査フィールドを持つ特殊な走査ヘッドにより、測定長全体にわたって主方向Xとその直交方向Yを直接かつ正確に測定します。EnDat 3インターフェースにより、2つの位置値を1本のケーブルでコントローラに送信できます。これにより、ケーブル配線を大幅に削減し、設置を簡単にするとともに、モーションシステムの動的性能を最適化します。

GAP 1081: 面外ギャップ測定

新製品のGAP 1081はハイデンハイン初のギャップエンコーダです。それは特殊ミラーと走査ヘッドの間の垂直方向のギャップを測定します。その結果、GAP 1081を簡単な垂直方向の位置決め作業に使用することができます。もしくはLIP 6000 Dplusのようなリニアエンコーダと平行に取付けることで、直線軸に沿って連続的に垂直方向の測定を行うことができます。GAP 1081のミラーは最長3 mまで対応します。1つのミラーに2つの走査ヘッドを配置すると、軸のピッチとヨーの両方を測定することができます。

完全なエンコーダ精度を簡単にアプリケーションで利用

高精度回転軸の理想的なソリューションであり、エアベアリングに代わる魅力的な製品である角度エンコーダモジュールMRP 8000をご紹介します。TRANSFERABLE ACCURACY により、複雑な取り付けや調整、各部品の組み合わせを必要とせずに、エンコーダの指定された精度を利用することができます。ハイデンハインは既にこれを実現し、お客様は半導体・電子機器製造装置の高精度化に注力できます。

MRP 8000: エンコーダ精度をアプリケーション上で忠実に再現

TRANSFERABLE ACCURACYが特徴のMRP 8000は、次のような特長のおかげで、エンコーダの指定された精度を発揮します:

  • 非常に堅牢なベアリング
  • 2個の走査ヘッド
  • コントローラ用の精度表データ

その結果、MRP 8000は、アプリケーション内で±0.1角度秒という驚異的なシステム精度を実現でき、振動、衝撃荷重、温度変動などの外的要因や取り付け条件に左右されません。これにより精度と性能の両方が向上し、精度を犠牲にせずにモータの回転速度を上げることができます。

耐荷重軸:コギングやラジアル方向の力に左右されない

ハイデンハインの角度エンコーダモジュールMRPとETELのトルクモータの組み合わせにより非常に滑らかなモーション制御が可能です。コギングやラジアル振れによりベアリングの高いガイド精度を損なうことはありません。また、高さ寸法が小さくて剛性が高いことが特徴の非常にコンパクトなシステムである、角度エンコーダモジュールSRP 5000も用意しています。各部品の剛性が高いため、様々な負荷がかかっても安定した精度が得られます。

ETELのハイエンドモーションシステムにより半導体・電子機器製造は新たなレベルへ

ETELのステージは、半導体製造の前工程・後工程や電子機器製造において、精度、動特性、信頼性の高いプロセスの新しい可能性を創造します。ハイデンハインのエンコーダを搭載したこれらのステージにより、高性能ICチップや小型電子機器の製造を最短時間で行い、次世代半導体の基礎を築くことができます。ビデオギャラリーでその可能性をご覧ください:

安定性、精度、そして動特性: CHARON2 XYTを用いた半導体製造

設置面積が小さく、高い耐荷重: VULCANO2を用いたウエハプロセス

回転軸用モーションシステム:優れた動特性のタレットハンドリング

限界のないダイレクトドライブモータ: ETELのリニアモータとトルクモータ

理想的な組み合わせ: ETELのモータとハイデンハインのエンコーダを搭載するCHARON2 XT

リアルタイム通信: 高い動力軸用のモーションコントローラUltimET

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EnDat 3によるバスモード: 高速性、実用性、経済性

EnDat 3は、バスモードを含む将来のデジタル化の要求を満たしながら、高いシステムインテグレーションを実現するために理想的なエンコーダインターフェースです。EnDat3は、ケーブル配線の削減と豊富な診断機能により、自動化システムの安全性と信頼性を向上させます。万能な通信技術により、位置フィードバックだけでなく、センサデータ、システムモニタリングデータ、自動設定データなど、さまざまなデータを送信することができます。

動的な回転軸用のハイデンハインオープンタイプエンコーダ: ERO 2000とERP 1000

半導体およびエレクトロニクス産業は常に発展を続けています。ハイデンハインは、オープンタイプエンコーダの分野における技術開発でこれに貢献しています。例えば、インクリメンタル角度エンコーダERO 2000 は、高い動特性を要求され、 ガルバノスキャナのような非常に設置スペースが限られたアプリケーション用に設計されています。
また、非常に高精度で高分解能なERP 1000も検討してください

LIC 3000: 動的な直線軸用のハイデンハインオープンタイプエンコーダ

LIC 3000シリーズは、アブソリュートオープンタイプリニアエンコーダLIC 4000とLIC 2000のシリーズに加わります。LIC 3000は、最高走査速度 600 m/minで測定分解能10 nmを実現します。リニアエンコーダLIC 3000により、最大測定長10mにおいて、非常に動的かつ高精度の位置測定が可能です。

広い走査フィールドにより、LIC 3000の耐環境性は大変優れています。スケール本体上に不純物があっても、信号品質と測定信頼性への影響を最小限に抑えます。動的性能、長い測定長、そして堅牢なオープンタイプリニアエンコーダLIC 3000シリーズは、特に汎用性が高く、さらに多くのアプリケーションにLICシリーズの長所をもたらします。

超薄型リニアエンコーダ: NUMERIK JENAのLIKgo と LIKselect

NUMERIK JENAのオープンタイプリニアエンコーダLIKgoLIKselect は、狭い設置スペースや高精度を要求される場合に最適です。

特に標準モデルのLIKgoは、小型・軽量化を実現しています。走査ヘッドの大きさは、わずか28 mm x 13 mm x 7.5 mm、質量はわずか10 gです。

このエンコーダは、新しく開発した2フィールド走査方式を採用し、目盛間隔は20 µm、最高測定分解能は78.125 nmと、非常に高精度で、高い信号品質を実現し、耐環境性にも優れています。

LIKselect は、これらの長所とNUMERIK JENAのKit Lシリーズの強みを組み合わせて、お客様からの個別の要求に合わせた構成が可能なエンコーダを提供できます。

高い動特性のダイレクトドライブモータ用: 柔軟性に優れたRSFのエンコーダ

RSFのソリューションはモジュール設計を採用し、リニアエンコーダや角度エンコーダを極めて柔軟にシステムに組み込むことができます。これには、あらゆるコントローラ用の通信インターフェースに対応し、様々な機械設計にも対応できることを意味します。取り付け公差が大きく、非常に簡単に取り付けられるという長所もあります

半導体・電子機器製造用ソリューションをさらにご紹介します。