精度とスループットの融合: HEIDENHAINの半導体デジタルイベント2024にて、エレクトロニクス・半導体製造のための新しいソリューションをご覧ください

アッベの誤差は工作機械の精度に悪影響を及ぼします。通常、これを測定することは困難ですが、2軸座標エンコーダPP 6000 では可能です。このエンコーダは1つの走査ヘッドを使用し464 mm x 464 mmの範囲で2方向を同時に測定します(これより大きな測定範囲はお問い合わせください)。ツールセンターポイントを直接測定することでアッベの誤差を最小限に抑え、機械の精度を向上させることができます。2つの位置値はEnDat 3インターフェースにより1本のケーブルで送信できるため、ケーブル配線やセットアップ作業が軽減されます。PP 6000 でモーションシステムの動的性能を最適化しましょう。

LIP 6000 Dplus は1本のスケール本体に斜め45°と-45°の目盛トラック2個を搭載しています。各目盛ごとに走査フィールドを持つ特殊な走査ヘッドにより、測定長全体にわたって主方向Xとその直交方向Yを直接かつ正確に測定します。EnDat 3インターフェースにより、2つの位置値を1本のケーブルでコントローラに送信できます。これにより、ケーブル配線を大幅に削減し、設置を簡単にするとともに、モーションシステムの動的性能を最適化します。

LIP 6000 Dplusをベースにした校正ツールを使用して、いつでも機械の検査と調整を行うことができます。機械の校正は毎日行うものではないため、校正ツールはHEIDENHAINのサービス部門からレンタルすることも可能です。自社で購入しメンテナンスを行う必要はありません。HEIDENHAINの認定校正ツールは、必要に応じてシステムの精度をチェックするのに便利です。

新製品のGAP 1081はハイデンハイン初のギャップエンコーダです。それは特殊ミラーと走査ヘッドの間の垂直方向のギャップを測定します。その結果、GAP 1081を簡単な垂直方向の位置決め作業に使用することができます。もしくはLIP 6000 Dplusのようなリニアエンコーダと平行に取付けることで、直線軸に沿って連続的に垂直方向の測定を行うことができます。GAP 1081のミラーは最長3 mまで対応します。1つのミラーに2つの走査ヘッドを配置すると、軸のピッチとヨーの両方を測定することができます。

精度保証や精度表があっても、アプリケーションでエンコーダの精度が十分に発揮されていない場合があります。特にエンコーダが剛性の低い部品に取付けられている場合など、多くの原因が考えられます。TRANSFERABLE ACCURACYが特徴のMRP 8081 Dplusは、アプリケーションにおいて指定された精度を発揮します。このエンコーダは次のような特長があります。

• 非常に堅牢なベアリング
• 4個の走査ヘッド
• コントローラ用の精度表データ

これらの特長により、MRP 8081 Dplusは取付け条件や偏心荷重、さらに振動、衝撃荷重、温度変動などの外的要因に左右されることなく、最大±0.2角度秒というシステム精度を実現します。これにより精度と性能の両方が向上し、精度を犠牲にせずにモータの回転速度を上げることができます。

MRP 8081 Dplusの4個の走査ヘッドは、高精度な角度測定に加えてラジアルガイド精度も測定します。将来的には4個の走査ヘッドを分析する特別な電子回路により、ラジアルガイドの誤差も補正できるようになります。

ハイデンハインの角度エンコーダモジュールMRPとETELのトルクモータの組み合わせにより非常に滑らかなモーション制御が可能です。コギングやラジアル振れによりベアリングの高いガイド精度を損なうことはありません。また、高さ寸法が小さくて剛性が高いことが特徴の非常にコンパクトなシステムである、角度エンコーダモジュールSRP 5000も用意しています。各部品の剛性が高いため、様々な負荷がかかっても安定した精度が得られます。

エレクトロニクス・半導体製造はダイナミックな産業です。HEIDENHAINはオープンタイプエンコーダの継続的な技術開発で、エレクトロニクス・半導体製造の急速な変化に対応しています。例えば、インクリメンタル角度エンコーダERO 2000は、ガルバノスキャナのように設置スペースが限られ、高い動特性を要求されるアプリケーション向けに設計されています。また、非常に高精度で高分解能なERP 1000もあります。さらに4個の走査ヘッドを搭載したERP 1080 Dplusは、角度エンコーダモジュールMRP 8081 Dplusと同じ堅牢性と取付けに関するメリットがあります。

EnDat 3は、バスモードを含む将来のデジタル化の要求を満たしながら、高いシステムインテグレーションを実現するために理想的なエンコーダインターフェースです。EnDat3は、ケーブル配線の削減と豊富な診断機能により、自動化システムの安全性と信頼性を向上させます。万能な通信技術により、位置フィードバックだけでなく、センサデータ、システムモニタリングデータ、自動設定データなど、さまざまなデータを送信することができます。

モジュール設計を採用したRSFのリニアエンコーダおよび角度エンコーダは、極めて柔軟にシステムに組み込むことができます。これには、あらゆるコントローラ用の通信インターフェースに対応し、様々な機械設計にも対応できることを意味します。取付け公差が大きく、非常に簡単に取付けられるという長所もあります。RSFの新しい角度エンコーダMCR 16は、信号品質をさらに向上させます。 

LIC 3000シリーズは、アブソリュートオープンタイプリニアエンコーダLIC 4000とLIC 2000のシリーズに加わります。LIC 3000は、最高走査速度 600 m/minで測定分解能10 nmを実現します。リニアエンコーダLIC 3000により、最大測定長10mにおいて、非常に動的かつ高精度の位置測定が可能です。

広い走査フィールドにより、LIC 3000の耐環境性は大変優れています。スケール本体上に不純物があっても、信号品質と測定信頼性への影響を最小限に抑えます。動的性能、長い測定長、そして堅牢なオープンタイプリニアエンコーダLIC 3000シリーズは、特に汎用性が高く、さらに多くのアプリケーションにLICシリーズの長所をもたらします。

NUMERIK JENAのオープンタイプリニアエンコーダLIKgo とLIKselect は、狭い設置スペースや高精度を要求される場合に最適です。

特に標準モデルのLIKgoは、小型・軽量化を実現しています。走査ヘッドの大きさは、わずか28 mm x 13 mm x 7.5 mm、質量はわずか10 gです。

このエンコーダは、新しく開発した2フィールド走査方式を採用し、目盛間隔は20 µm、最高測定分解能は78.125 nmと、非常に高精度で、高い信号品質を実現し、耐環境性にも優れています。

LIKselect は、これらの長所とNUMERIK JENAのKit Lシリーズの強みを組み合わせて、お客様からの個別の要求に合わせた構成が可能なエンコーダを提供できます。