Virtual Tradeshow | SEMICONDUCTORS & ELECTRONICS

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海德漢將於2021年7月在微型網站舉行線上數位展(含即時Webex個人導覽)發掘能為您製造工藝創造新動能的諸多創新技術與亮點

可測定六個自由度編碼器帶您進入一個嶄新的精度境界

發掘一個可測定多於單個自由度的編碼器: LIP 6000 D plus 與新 GAP 1000。 多自由度技術的額外反饋,能為您實現極佳的測量精度,使您偵測與補償系統在多自由度相關位置誤差。

LIP 6000 Dplus : 一支光學尺、一個讀頭、二個自由度

LIP 6000 D plus的尺身上刻有沿正負45°對角線刻畫的特殊兩列式光柵搭配可掃描個別光柵的特殊讀頭,就能直接且精確地進行主要方向X與次要方向Y的全行程量測。透過EnDat3,兩個位置值可經由單一線傳到控制端,這顯著減少配線、簡化安裝 及優化運動系統動態性能

GAP 1000: 垂直面間隙量測

GAP 1081是海德漢第一款間隙編碼器,它可測量特殊鏡片與讀頭間的垂直間隙。因此 ,GAP 1081可應用於簡易垂直定位任務,或與LIP 6000D plus這類直線光學尺平行安裝,來作直線軸向的連續垂直量測。GAP1081反射鏡量測行程可達3米,當二個讀頭配置於同一鏡面時,軸向的俯仰角(pitch)及偏航角(yaw)皆可測得

輕鬆將編碼器精度完整利用於您的應用中

在高精度旋轉軸的最佳解決方案及迷人的空氣軸承替代方案:與MRP8000角度編碼器模組的初次邂逅。可傳遞精度讓您免除複雜安裝、調教、零件匹配,即可利用編碼器規格精度。這部分已由海德漢協助完成,使您可專注於打造適用半導體與電子生產的高精度機械

MRP 8000: 輕鬆將編碼器精度完整利用於您的應用中

即使是檢定合格的精度與擁有精度表,編碼器精度在實際安裝後仍可能無法完整有效呈現。這可能有很多成因,包含軟質安裝零件。MRP 8000特色是可傳遞精度, 一個可將編碼器規格精度完整釋放的技術,基於:

  • 一個極度穩健堅韌的軸承、
  • 第二讀頭、
  • 一張為您的控制器準備的校正表

因此,在您的應用中 MRP 8000系統精度可達到極為驚人的±0.1角秒,並且不受安裝狀況或振動、衝擊、溫度波動等外部因素干擾,這提升了精度和性能,並在不犧牲精度的前提下提升軸向轉速

重負載軸: 不受齒槽轉矩與徑向力影響

海德漢MRP角度編碼器模組+ETEL扭力馬達迸出新火花,不同凡響的平滑運動控制,不受齒槽轉矩與徑向力妨害的高軸承導軌精度。也可提供SRP 5000角度編碼器模組,極扁平、高剛性緊湊型系統高剛性零件,確保在不同負載下一致的精度

ETEL高階運動控制系統帶領半導體與電子生產至新境界

ETEL運動平台創造了在半導體前後段製程中精度、動態性能與可靠製程的新可能。使用海德漢編碼器,ETEL運動平台助您在最短時間內完成高性能晶片生產與精密電子組裝,並為下一世代半導體奠定基礎。在海德漢影片庫找尋可能:

穩定、精準、動態:為您半導體產業準備的CHARON2 XYT

低占地面積、高乘載能力:為您晶圓製程準備的 VULCANO2

旋轉軸運動系統:高動態轉塔分選系統

不受限的直驅馬達: ETEL線性馬達與扭力馬達

天作之合: ETEL CHARON2 XT與海德漢編碼器

實時通信: 打造強大軸向的UltimET運動控制系統

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海德漢將於2021年7月在微型網站舉行線上數位展(含即時Webex個人導覽)發掘能為您製造工藝創造新動能的諸多創新技術與亮點

快、易、省的EnDat3匯流排操作

EnDat 3是實現高度系統整合與迎向包含匯流排操作在內之數位化未來的理想編碼器介面。 EnDat 3 節省配線並讓多方面診斷變得唾手可得,因而讓您自動化系統的安全性與可靠度再升級。EnDat3通用型通信介面傳輸多方面資訊,不僅位置回饋,亦包含感測數據、系統監控數據、設備的自動配置數據

海德漢適用於高動態性能旋轉軸的開放式編碼器: ERO 2000 與 ERP 1000

半導體與電子產業持續不斷進化,而海德漢為此致力於開放式編碼器領域的技術發展。例如ERO 2000增量式角度編碼器就是針對有高動態性能要求與有限安裝空間如振鏡掃描儀(Galvano scanners)等應用而特別開發。或ERP1000,其具有不同凡響的高精度與解析度

LIC 3000:海德漢適用於高動態性能直線軸的開放式編碼器

LIC 3000 系列加入眾所熟悉的絕對式開放式直線光學尺LIC 4000 及 LIC 2000 家族。LIC 3000具有極小的10奈米量測步距,並且往復移動速度可達600m/min。適用於高動態性能與精準位置測量線性軸的LIC 3000直線光學尺,測量長度可達 10 m

大掃描區使LIC3000極度抗污染,局部污染在尺身上對信號品質與測量可靠度僅有極小的影響。得益於其動態性能、長行程、穩健性,LIC 3000開放性直線光學尺更為泛用,將LIC編碼器的優勢應用於更多領域吧。

NUMERIK JENA 極扁平直線光學尺LIKgo 與 LIKselect

NUMERIK JENA LIKgo 與LIKselect 編碼器完美適用於 狹小的安裝空間與高精度要求

標準款的 LIKgo特別小巧輕便其讀頭尺寸僅有28 mmx 13mmx 7.5mm且僅重 10 克

編碼器新式雙場掃描原理使光柵週期20 µm的量測步距可達到78.125 nm,極其精確、高信號品質與抗污染

可客製化設計的LIKselect編碼器承襲NUMERIK JENA Kit L系列優點,提供可高度自由搭配的編碼器符合您個別需求

為高動態性能直驅馬達而生:RSF模組編碼器

RSF模組化設計解決方案,提供直線與角度編碼器整合最大的靈活性。這包括多種適用於常見的控制器的介面與各種各樣的機械尺寸設計。您將得益於其大安裝容差與極其簡單的安裝過程

您想發掘更多半導體與電子產業的解決方案嗎?