半導體和電子製造業的機器承受極端要求和負荷。 經由使用期間的誤差補償，HEIDENHAIN 解決方案可確保在關鍵製程中設備在使用壽命期間達到最佳品質和生產力：
薄膜量測、堆疊量測、FEOL 微影、光罩檢測、鍵合後檢測、焊墊檢測和 TSV 檢測
HEIDENHAIN GROUP 是您的合作夥伴、為您提供精準度兼具動態性能、實用價值和可靠性.的解決方案。
加入我們，打破精度的壁壘。 探索我們解鎖 N+1 製程節點的開創性創新。
MULTI-DOF}TECHNOLOGY： 維持應用中的精度
使用我們基於LIP 6000 Dplus的校正工具，隨時檢查和調整您的工具機。校正您的工具機並不是一項日常活動，因此海德漢也提供租用工具這項服務，而無需購買和維護您自己的工具。我們經過認證的校正工具係根據需要檢查系統準確性的便捷方法。
阿貝(Abbé)誤差對工具機精度有負面影響，量測通常很困難，但使用PP 6000 Dplus雙座標編碼器則不會。此編碼器使用單個掃描頭，可在464 mm x 464 mm的區域內同時量測兩個方向，還可根據要求提供更大的區域。通過直接量測刀具中心點，您可以最大限度減少阿貝誤差並提高工具機精度。其雙位置反饋使用EnDat 3介面通過單一電纜傳輸，從而減少佈線和設定工作。使用PP 6000 Dplus最佳化運動系統的動態行為。
輕鬆將編碼器精度完整利用於您的應用中
儘管您的編碼器具有經過認證的精度和校正表，但您可能無法在應用中使用其全部精度。造成這種情況的可能原因有很多，特別是當編碼器安裝到剛性不足的部件時。具有可轉移精度的MRP 8081 Dplus可確保指定的精度不會因應用而降低。此技術具有以下特點：
得益於這些功能，MRP 8081 Dplus的系統精度高達±0.2角秒，無論給定的安裝環境、傾斜負載或其他外部因素如何（例如振動、突然的物理負載和溫度波動）。這提升了精度和性能，並在不犧牲精度的前提下提高馬達轉速。
除了高精度角度量測之外，MRP 8081 Dplus的四個掃描頭還可量測軸的徑向導軌誤差。將來，用於分析四個掃描頭的特殊電子設備也將允許您彌補這一點。
透過我們的產品專家影片和技術動畫，隨時了解我們針對半導體和電子產業的高效能解決方案。
