EMPOWER TECHNOLOGY
半导体和电子行业的高性能生产
BACK-END ASSEMBLY
HEIDENHAIN和RSF的解决方案助力实现高性能的引线键合和贴片生产
多自由度技术提高生产力
可测量多达六自由度的编码器
高端运动系统打造全新可能
ETEL工作台的精度和性能更高，广泛应用于半导体和电子行业
可移精度保持高精度性能
双读数头的MRP 8081角度编码器模块
直线光栅尺和角度编码器精确测量任何轴
海德汉、NUMERIK JENA和RSF品牌的高精度、紧凑和可量身定制的编码器
HEIDENHAIN GROUP的解决方案兼具高精度、高动态性能、高实用价值和高可靠性，HEIDENHAIN GROUP是您可信赖的合作伙伴。
我们携手并进，共破精度极限。详细了解我们的开创性创新成果，实现N+1制程节点。SEMICON线上活动： 2025年10月27日至31日和11月10日至14日
详细了解高精度和高生产效率：HEIDENHAIN的MULTI-DOF TECHNOLOGY和ETEL的全新平台TELICA HP，搭载ACCURET+位控系统和QUIET主动避振系统，为混合键合、热压键合和扇出应用提供了全新可能。
在含振镜扫描等激光应用中，可实现高动态性能和高精度的轴定位操作。HEIDENHAIN、NUMERIK JENA和RSF的编码器和ETEL的运控系统组成多样化的解决方案，适配不同的应用，包括安装空间有限的应用。
加快生产和检测速度：HEIDENHAIN GROUP的解决方案为高性能引线键合和贴片生产提供理想的方案，HEIDENHAIN、NUMERIK JENA和RSF提供直线光栅尺和角度编码器，ETEL提供搬运解决方案。
高精度加工需要加工设备在刀具中心点位置保持高精度运动。我们的测量设备可确定加工设备精度，您可以自己检测和重新校准加工设备。补偿热位移和阿贝误差，确保达到理想的加工结果。
我们以多自由度技术为基础设计开发的编码器可反馈一个以上自由度的位置。附加的反馈信号可显著提高测量精度，检测其它方向运动的位置误差并进行补偿，避免影响系统。采用此创新技术的编码器包括PP 6000 Dplus二维编码器、LIP 6000 Dplus直线编码器和GAP 1000间隙测量编码器。
阿贝（Abbé）误差影响机床精度。阿贝（Abbé）误差通常难以测量，而PP 6000 二维编码器可测量此误差。这款编码器只需一个读数头同时测量两个方向，测量面尺寸达464 mm x 464 mm，如果需要更大测量面尺寸，可根据需要提供。直接测量刀具中心点，最大限度减小阿贝（Abbé）误差，提高设备精度。EnDat 3接口在一条电缆中传输两路位置反馈信号，因此，可减少电缆数量和减轻设置工作。PP 6000 编码器优化运动系统的动态性能。
LIP 6000 Dplus在一个光栅基体上提供两条独立的光栅刻轨，交叉角为+45°和–45°。专用的扫描场读数头直接扫描每一条光栅，在测量范围的全长上沿X轴主方向和Y轴辅助方向精确进行测量。接口为EnDat 3，因此可用一条电缆将两组位置值发给控制系统。显著简化电缆连接，简化编码器安装和提高运动系统动态性能。
我们提供以LIP 6000 Dplus为基础的校准工具，可用其随时检测和调整设备。设备的校准并非日常任务，用户可租用我们的校准工具，这是HEIDENHAIN的一项服务，用户无需购买和持有自己的校准工具。我们提供认证的校准工具，在需要时可方便地用其检查系统精度。
海德汉全新的首款间隙测量编码器GAP 1081。可测量特殊镜面与读数头间的垂直间隙。因此，可用GAP 1081进行简单的垂直位置测量。也可以安装在平行于直线光栅尺的方向上，例如LIP 6000 Dplus，在直线轴方向上连续进行垂直测量。GAP 1081的镜面长度可达3 m。如果在镜面上使用两个读数头，则可同时测量直线轴的俯仰和偏向。
海德汉MRP角度编码器模块与ETEL力矩电机珠联璧合共同打造卓越平滑性的运动控制系统。无论齿槽扭矩还是径向力对轴承的导向精度都没有影响。我们还提供SRP 5000角度编码器模块，这是一款紧凑、超薄和高刚性的角度编码器。其部件的高刚性还能确保在变化的负载条件下达到一致的高精度。
电子和半导体生产是高速发展的行业。HEIDENHAIN不断开发敞开式编码器，满足高速发展要求。ERO 2000增量式角度编码器就是这样一款产品，这款编码器专用于空间有限和高动态性能的应用，例如扫描振镜。而且，ERP 1000精度高和分辨率高。ERP 1080 Dplus是此产品线中的一款产品，含四个读数头，其工作可靠性和安装优点与MRP 8081 Dplus角度编码器模块相同。
观看我们为半导体和电子行业特别准备的产品专题视频和技术动画，快速了解产品亮点，内容包括HEIDENHAIN、ETEL、NUMERIK JENA和RSF的解决方案。
