在半导体和电子制造行业，生产设备的要求极其苛刻，工作负载大。
在设备工作期间，HEIDENHAIN解决方案可以补偿误差，对于关键制程中的生产设备，可确保其在全生命周期中保持高质量和高生产力，包括：
薄膜测量，套刻测量，前段制程光刻，光掩模检测，键合后检测，凸块检测和TSV检测
HEIDENHAIN GROUP的解决方案兼具高精度、高动态性能、高实用价值和高可靠性，HEIDENHAIN GROUP是您可信赖的合作伙伴。
我们携手并进，共破精度极限。详细了解我们的开创性创新成果，实现N+1制程节点。SEMICON线上活动： 2025年10月27日至31日和11月10日至14日
MULTI-DOF TECHNOLOGY： 在您的应用中保持高精度
我们提供以LIP 6000 Dplus为基础的校准工具，可用其随时检测和调整设备。设备的校准并非日常任务，用户可租用我们的校准工具，这是HEIDENHAIN的一项服务，用户无需购买和持有自己的校准工具。我们提供认证的校准工具，在需要时可方便地用其检查系统精度。
阿贝（Abbé）误差影响机床精度。阿贝（Abbé）误差通常难以测量，而PP 6000 二维编码器可测量此误差。这款编码器只需一个读数头同时测量两个方向，测量面尺寸达464 mm x 464 mm，如果需要更大测量面尺寸，可根据需要提供。直接测量刀具中心点，最大限度减小阿贝（Abbé）误差，提高设备精度。EnDat 3接口在一条电缆中传输两路位置反馈信号，因此，可减少电缆数量和减轻设置工作。PP 6000 编码器优化运动系统的动态性能。
在实际应用中轻松、真实再现编码器的高精度
尽管编码器提供认证的精度和精度检定图，但在应用中也可能无法充分发挥精度优势。原因多种多样，特别是编码器被安装在刚性不足的部件上时。MRP 8081 Dplus提供可转移精度，确保在应用中最大限度达到指定的精度。此技术使用了以下特性：
MRP 8081 Dplus提供这些特性，在给定安装条件、摆动负载或其它外部条件下，例如振动、突发的机械负载和温度波动，系统精度可达±0.2角秒。提高精度和工作性能，在不牺牲精度的条件下达到更高电机转速。
除高精度角度测量外，MRP 8081 Dplus的四个读数头还能测量轴的径向导向误差。未来，专用的电子电路可分析四路读数头信号，补偿这些误差。
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