HEIDENHAIN编码器和ETEL运控系统组合，共同为先进封装创造全新可能，包括混合键合、热压键合、扇出应用等：
纳米级高精度定位 创新的运动控制 振动监测
HEIDENHAIN GROUP的解决方案兼具高精度、高动态性能、高实用价值和高可靠性，HEIDENHAIN GROUP是您可信赖的合作伙伴。
我们携手并进，共破精度极限。详细了解我们的开创性创新成果，实现N+1制程节点。SEMICON线上活动： 2025年10月27日至31日和11月10日至14日
全新： ETEL的TELICA HP高动态性能和高精度的龙门式平台
多轴TELICA平台专用于半导体后段制程中的先进封装，包括混合键合、热压键合和扇出应用。新一代TELICA HP一体化平台采用双龙门结构、ETEL的QUIET主动避振系统和全新ACCURET位控技术，以及HEIDENHAIN的MULTI-DOF直线光栅尺。TELICA HP的产量高达5000件/小时，精度不低于1 µm，位置稳定性优于15 nm，而且刀具中心点在25 mm范围内的重复精度优于50 nm。
TELICA HP突破性的高精度源自HEIDENHAIN GROUP解决方案的综合优势，不仅可实现更高精度，还可实现高动态性能、高实用价值和高可靠性。
全新：ERO 2900 Dplus 可提供直线反馈功能的模块型角度编码器
详细了解带直线反馈功能的角度编码器：ERO 2900 Dplus角度编码器采用MULTI-DOF TECHNOLOGY，提供多自由度信号反馈。ERO 2900 Dplus内设栅鼓和读数头，还通过另一个读数头读取直线刻轨信息。因此，这款角度编码器不仅可以测量轴上的角度位置，还可以测量直线行程。在许多应用中，新增的反馈功能发挥着决定性作用，例如在贴片头上，只需一个这款编码器可测量贴片头的复杂旋转运动和直线运动。
MULTI-DOF TECHNOLOGY： 突破精度极限
我们以多自由度技术为基础设计开发的编码器可反馈一个以上自由度的位置。附加的反馈信号可显著提高测量精度，检测其它方向运动的位置误差并进行补偿，避免影响系统。采用此创新技术的编码器包括PP 6000 Dplus二维编码器、LIP 6000 Dplus直线编码器和GAP 1000间隙测量编码器。
阿贝（Abbé）误差影响机床精度。阿贝（Abbé）误差通常难以测量，而PP 6000 二维编码器可测量此误差。这款编码器只需一个读数头同时测量两个方向，测量面尺寸达464 mm x 464 mm，如果需要更大测量面尺寸，可根据需要提供。直接测量刀具中心点，最大限度减小阿贝（Abbé）误差，提高设备精度。EnDat 3接口在一条电缆中传输两路位置反馈信号，因此，可减少电缆数量和减轻设置工作。PP 6000 编码器优化运动系统的动态性能。
LIP 6000 Dplus在一个光栅基体上提供两条独立的光栅刻轨，交叉角为+45°和–45°。专用的扫描场读数头直接扫描每一条光栅，在测量范围的全长上沿X轴主方向和Y轴辅助方向精确进行测量。接口为EnDat 3，因此可用一条电缆将两组位置值发给控制系统。显著简化电缆连接，简化编码器安装和提高运动系统动态性能。
我们提供以LIP 6000 Dplus为基础的校准工具，可用其随时检测和调整设备。设备的校准并非日常任务，用户可租用我们的校准工具，这是HEIDENHAIN的一项服务，用户无需购买和持有自己的校准工具。我们提供认证的校准工具，在需要时可方便地用其检查系统精度。
海德汉全新的首款间隙测量编码器GAP 1081。可测量特殊镜面与读数头间的垂直间隙。因此，可用GAP 1081进行简单的垂直位置测量。也可以安装在平行于直线光栅尺的方向上，例如LIP 6000 Dplus，在直线轴方向上连续进行垂直测量。GAP 1081的镜面长度可达3 m。如果在镜面上使用两个读数头，则可同时测量直线轴的俯仰和偏向。
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