对于芯片的后段制程，需要极快的生产和检测速度，同时也需要作用力控制和过程可靠。
HEIDENHAIN GROUP的编码器和ETEL的搬运系统相互配合，可在应用中实现高精度、 高动态性能、严格的作用力控制和过程可靠：
IC分选机，引线键合机，芯片分选机，贴片机，晶圆切片机和晶圆探针台
HEIDENHAIN GROUP的解决方案兼具高精度、高动态性能、高实用价值和高可靠性，HEIDENHAIN GROUP是您可信赖的合作伙伴。
我们携手并进，共破精度极限。详细了解我们的开创性创新成果，实现N+1制程节点。SEMICON线上活动： 2025年10月27日至31日和11月10日至14日
ETEL的高速搬运系统可搬运超薄元器件，也可搬运大型元器件
ETEL的RTMB+回转分度工作台支持大有效负载和高动态性能运动，可搬运大型元器件，并达到更高性能和更高过程可靠性。而在封装和检测中，TUCANA ST和AQUARIUS ST可轻柔操作芯片和晶圆。
旋转轴运动系统：高动态性能的转塔分选
RSF的DG 14增量式角度编码器专用于在狭小空间中测量高动态运动。模块型的DG 14角度编码器内仅设有小型读数头和非整圆圆光栅码盘。扇段长度和栅距可适配应用需求，因此其尺寸和精度均可满足引线键合焊头的设计要求。
RSF的直线光栅尺和角度编码器采用模块化设计，应用灵活，可轻松集成在应用系统中。这些光栅尺和角度编码器支持大量不同接口，可轻松连接常用的控制系统和支持不同的物理设计。其它获益还包括宽松的安装公差和易于安装。RSF的全新MCR 16角度编码器可达更高信号质量。
NUMERIK JENA LIKgo和LIKselect敞开式直线光栅尺是狭小安装空间和高精度应用的理想选择。
标准型的LIKgo光栅尺的突出特点是体积小，重量轻。读数头尺寸仅28 mm x 13 mm x 7.5 mm和重量仅10 g。这款光栅尺采用新开发的20 µm栅距的两场扫描技术，测量步距可达78.125 nm的极高精度，并提供高质量信号和优异的抗污性能。
为满足量身定制要求，LIKselect光栅尺结合NUMERIK JENA的Kit L系列优点，可以灵活配置编码器功能特性，满足个性化的应用需求。
LIC 3000系列光栅尺是继LIC 4000系列和LIC 2000系列敞开式绝对直线光栅尺之后的又一个产品线。LIC 3000测量步距仅10 nm，运动速度可达600 m/min。LIC 3000直线光栅尺可进行直线轴高动态性能和高精度位置测量，测量长度可达10 m。
LIC 3000的大型扫描场可有效提高抗污性能。测量基准的局部污染对信号质量和测量稳定性的影响十分有限。由于LIC 3000系列敞开式直线光栅尺动态性能高，测量长度大和坚固耐用，因此，这款光栅尺应用灵活，在更多的应用中都能充分发挥LIC光栅尺的优势。
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