Virtual Show | SEMICONDUCTORS & ELECTRONICS

Accuratezza attraverso metrologia e ispezione

Macchine e impianti nell'industria elettronica e manifatturiera dei semiconduttori sono soggetti a requisiti e carichi estremi.

HEIDENHAIN offre soluzioni in grado di compensare gli errori che si verificano durante il funzionamento, garantendo qualità e produttività ottimali per l'intero ciclo di vita delle macchine impiegate in processi critici:

misurazioni di film sottili | metrologia overlay | litografia FEOL | ispezione di fotomaschere | ispezione post-bonding | ispezione bump e ispezione TSV

Empower Technology
Higher performance for the semiconductor and electronics industry

HEIDENHAIN GROUP è il vostro partner per soluzioni che combinano precisione con rapidità, praticità e affidabilità nel tempo.

Superate insieme a noi la barriera dell'accuratezza.
Scoprite le nostre innovazioni all'avanguardia
che consentono il nodo di processo N+1.

Digital SEMICON Event          27–31 ottobre / 10–14 novembre 2025

MULTI-DOF TECHNOLOGY:
accuratezza sempre costante nell'applicazione

Accuratezza garantita: con il tool di calibrazione basato su LIP 6000 Dplus

Utilizzate in qualsiasi momento il tool di calibrazione basato su LIP 6000 Dplus per verificare e tarare i vostri sistemi. La calibrazione di macchine e impianti non è un'attività quotidiana che giustifichi l'ingente investimento in un tool specifico e soprattutto la relativa manutenzione e taratura costanti. HEIDENHAIN ha quindi integrato nei suoi servizi anche l'offerta per il noleggio di questo tool di calibrazione. In questo modo è possibile utilizzare un tool certificato per garantire le accuratezze dei vostri sistemi ogni volta che ne avrete bisogno.

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PP 6000: due direzioni di misura principali per maggiore accuratezza

Il sistema di misura a 2 coordinate PP 6000 consente di misurare la posizione simultaneamente in due direzioni principali con una sola testina di scansione in un campo fino a 464 mm x 464 mm nella versione standard, con campi maggiori su richiesta. Con la misurazione diretta sul Tool Center Point è così possibile minimizzare l'errore di Abbe e incrementare l'accuratezza della macchina. Potete migliorare soprattutto la ripetibilità e la velocità del processo di produzione. Grazie all'interfaccia EnDat 3, entrambi i valori di posizione misurati vengono trasmessi con un unico cavo al controllo numerico. Questo riduce notevolmente la complessità del cablaggio e del montaggio ottimizzando allo stesso tempo il comportamento dinamico del motion system.

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Trasferite l'accuratezza degli encoder nella vostra applicazione con soluzioni di montaggio vantaggiose

MRP 8081 Dplus: sfruttate l'accuratezza degli encoder per le vostre applicazioni

Nonostante l'accuratezza certificata e il protocollo di misura, il montaggio nell'applicazione può compromettere la preziosa accuratezza del sistema di misura. Le cause sono molteplici, ad esempio componenti applicati non sufficientemente rigidi. MRP 8081 Dplus con TRANSFERABLE ACCURACY assicura l'accuratezza specificata:

  • con l'unità cuscinetto molto robusta,
  • con quattro testine di scansione,
  • con un set di dati di calibrazione per il controllo numerico.

Nell'applicazione, MRP 8081 Dplus raggiunge quindi un'accuratezza del sistema fino a ±0,2 secondi d'arco – a prescindere dalle condizioni di montaggio, sollecitazioni di ribaltamento e influssi esterni quali vibrazioni, sollecitazioni da urti oppure oscillazioni di temperatura. Questo incrementa non solo l'accuratezza ma anche le performance, con la possibilità di incrementare le velocità del motore senza perdita di accuratezza.

Oltre all'estrema accuratezza nella misurazione angolare, il sistema modulare di misura angolare MRP 8081 Dplus rileva anche l'accuratezza di posizionamento radiale di un asse grazie alle sue quattro testine di scansione. In futuro, un'elettronica speciale per l'elaborazione delle posizioni delle quattro testine vi consentirà di compensare questi scostamenti.

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