Virtual show | SEMICONDUCTORS & ELECTRONICS

精密計測と検査で高精度を維持

半導体エレクトロニクス産業における製造装置は、過酷な要求や負荷にさらされます。

稼働中に生じる誤差を補正することにより、HEIDENHAINのソリューションは以下の重要なプロセスに関わる装置の全耐用期間にわたり、品質と生産性の最適化を可能にします。

薄膜測定、オーバーレイ計測、FEOLリソグラフィ、フォトマスク検査、ポストボンド検査、バンプ検査、TSV検査

MULTI-DOF TECHNOLOGY:
アプリケーションの精度を維持

機械の精度を簡単にチェック: LIP 6000 Dplusをベースにした校正ツール

LIP 6000 Dplusをベースにした校正ツールを使用して、いつでも機械の検査と調整を行うことができます。機械の校正は毎日行うものではないため、校正ツールはHEIDENHAINのサービス部門からレンタルすることも可能です。自社で購入しメンテナンスを行う必要はありません。HEIDENHAINの認定校正ツールは、必要に応じてシステムの精度をチェックするのに便利です。

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PP 6000: 2方向の測定で高精度を実現

アッベの誤差は工作機械の精度に悪影響を及ぼします。通常、これを測定することは困難ですが、2軸座標エンコーダPP 6000 では可能です。このエンコーダは1つの走査ヘッドを使用し464 mm x 464 mmの範囲で2方向を同時に測定します(これより大きな測定範囲はお問い合わせください)。ツールセンターポイントを直接測定することでアッベの誤差を最小限に抑え、機械の精度を向上させることができます。2つの位置値はEnDat 3インターフェースにより1本のケーブルで送信できるため、ケーブル配線やセットアップ作業が軽減されます。PP 6000 でモーションシステムの動的性能を最適化しましょう。

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完全なエンコーダ精度を簡単にアプリケーションで利用

MRP 8081 Dplus: エンコーダの精度を最大限に活用

精度保証や精度表があっても、アプリケーションでエンコーダの精度が十分に発揮されていない場合があります。特にエンコーダが剛性の低い部品に取付けられている場合など、多くの原因が考えられます。TRANSFERABLE ACCURACYが特徴のMRP 8081 Dplusは、アプリケーションにおいて指定された精度を発揮します。このエンコーダは次のような特長があります。

  • 非常に堅牢なベアリング
  • 4個の走査ヘッド
  • コントローラ用の精度表データ

これらの特長により、MRP 8081 Dplusは取付け条件や偏心荷重、さらに振動、衝撃荷重、温度変動などの外的要因に左右されることなく、最大±0.2角度秒というシステム精度を実現します。これにより精度と性能の両方が向上し、精度を犠牲にせずにモータの回転速度を上げることができます。

MRP 8081 Dplusの4個の走査ヘッドは、高精度な角度測定に加えてラジアルガイド精度も測定します。将来的には4個の走査ヘッドを分析する特別な電子回路により、ラジアルガイドの誤差も補正できるようになります。