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계측 및 검사를 통해 정확성 유지

반도체 및 전자 제조 산업의 기계는 극심한 요구 사항과 부하를 받습니다.
운영 중 발생하는 오류를 보완함으로써 HEIDENHAIN 솔루션은 중요한 프로세스에 참여하는 기계의 전체 서비스 수명에 걸쳐 최적의 품질과 생산성을 제공합니다:

박막측정, 오버레이계측, FEOL 리소그래피, 포토마스크검사, 접합검사, 범프검사 TSV 검사

Empower Technology

HEIDENHAIN GROUP은 솔루션 파트너입니다

정확성과 의 다이나믹 퍼포먼스, 실용적 가치, 그리고 신뢰성을 결합했습니다.

함께 정확성이라는 장애물을 걷어냅시다.
N+1 프로세스 노드를 잠금 해제하는 선구적인 혁신을 발견하세요.

MULTI-DOF TECHNOLOGY:
어플리케이션의 정확성 유지

새로운

기계의 정확도를 쉽게 확인할 수 있는 방법: LIP 6000 Dplus  기반의 보정 도구

LIP  6000  D  + 에 기반한 보정 도구를 사용하여 언제든지 기계를 검사하고 조정하십시오. 기계를 교정하는 것은 일상적인 일이 아니므로, 자체 도구를 구입하고 유지 관리할 필요 없이 HEDIENHAIN 서비스로 도구를 대여할 수도 있습니다. 당사의 인증된 교정 도구는 필요에 따라 시스템의 정확도를 확인하는 편리한 방법입니다.

PP 6000: 정확도를 높이기 위한 두 가지 측정 방향

Abbé 오류는 공작기계 정확도에 부정적인 영향을 미칩니다. 측정은 일반적으로 어렵지만 PP 6000  2좌표 엔코더로는 측정할 수 없습니다. 단일 스캐닝 헤드를 사용하여 이 인코더는 464mm x 464mm 필드에 걸쳐 두 방향을 동시에 측정하며 요청 시 더 큰 필드를 사용할 수 있습니다. 공구 중심점을 직접 측정하여 Abbé 오류를 최소화하고 기계의 정확도를 향상시킬 수 있습니다. 이중 위치 피드백은 EnDat 3 인터페이스를 사용하여 단일 케이블을 통해 전송되므로 케이블 연결 및 설정 작업을 줄일 수 있습니다. PP  6000  를 사용하여 모션 시스템의 동적 동작을 최적화합니다.

새로운

MRP 8081 D plus : 엔코더의 정확성을 최대한 활용합니다

엔코더의 인증된 정확도 및 보정 차트에도 불구하고 어플리케이션 내에서 전체 정확도를 사용하지 않을 수 있습니다. 특히 엔코더가 불충분한 강성 부품에 장착된 경우에는 여러 가지 가능한 이유가 있습니다. TRANSFERABLE ACCURACY를 가진 MRP 8081 D plus 은 어플리케이션에 의해 지정된 정확도가 감소하지 않도록 보장합니다. 이 기술은 다음과 같은 기능을 활용합니다:

  • 매우 견고한 베어링 유닛
  • 4개의 스캔 헤드
  • 관리에 적합한 보정 관련 데이터 세트

이러한 기능 덕분에 MRP 8081 Dplus 는 주어진 장착 환경, 틸팅 부하 또는 진동, 갑작스러운 물리적 부하 및 온도 변동과 같은 기타 외부 요인에 관계없이 최대 ±0.2 아크 초의 시스템 정확도를 달성합니다. 이를 통해 정확도와 성능이 모두 향상되어 정확도를 희생하지 않고 모터 속도를 높일 수 있습니다

고정밀 각도 측정 외에도 MRP  8081 Dplus의 4개의 스캐닝 헤드는 축의 방사상 가이드웨이 부정확성도 측정합니다. 미래 4개의 스캐닝 헤드를 분석하는 특수 전자 제품을 사용하게되면 이 부분도 보상할 수 있습니다.

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