先端半導体パッケージングへの挑戦とHEIDENHAINグループからのソリューション

• 新しい計測コンセプトの提案　(開始時間 10:30)
• 機上における多自由度測定の応用　(開始時間 11:30)
• 新しい制御システムのコンセプト　(開始時間 13:30)
• アクティブ除振システム　(開始時間 14:30)
• システムソリューション　(開始時間 15:30)

5つの各テーマを全日1日1回ずつ、ミニプレゼンテーションを行います。ぜひご参加ください。

開催日

2025年1月22日（水）～ 2025年1月24日（金）

開催場所

東京ビックサイト 東1ホール E6-32（HEIDENHAIN展示ブース）

LIP 6000 Dplus は1本のスケール本体に斜め45°と-45°の目盛トラック2個を搭載しています。各目盛ごとに走査フィールドを持つ特殊な走査ヘッドにより、測定長全体にわたって主方向Xとその直交方向Yを直接かつ正確に測定します。EnDat 3インターフェースにより、2つの位置値を1本のケーブルでコントローラに送信できます。これにより、ケーブル配線を大幅に削減し、設置を簡単にするとともに、モーションシステムの動的性能を最適化します。

新製品のGAP 1081はハイデンハイン初のギャップエンコーダです。それは特殊ミラーと走査ヘッドの間の垂直方向のギャップを測定します。その結果、GAP 1081を簡単な垂直方向の位置決め作業に使用することができます。もしくはLIP 6000 Dplusのようなリニアエンコーダと平行に取付けることで、直線軸に沿って連続的に垂直方向の測定を行うことができます。GAP 1081のミラーは最長3 mまで対応します。1つのミラーに2つの走査ヘッドを配置すると、軸のピッチとヨーの両方を測定することができます。

アクティブアイソレーションシステム・低周波スプリング ベースのアイソレータ

• 6自由度(6DOF)を超えるリニアモータベースのアクティブダンピング
• 最大99 %のフィードフォワード精度
• 最大4500 kgのペイロード
• モジュール式でアプリケーションに合わせて拡張可能

精度保証や精度表があっても、アプリケーションでエンコーダの精度が十分に発揮されていない場合があります。特にエンコーダが剛性の低い部品に取付けられている場合など、多くの原因が考えられます。TRANSFERABLE ACCURACYが特徴のMRP 8081 Dplusは、アプリケーションにおいて指定された精度を発揮します。このエンコーダは次のような特長があります。

• 非常に堅牢なベアリング
• 4個の走査ヘッド
• コントローラ用の精度表データ

これらの特長により、MRP 8081 Dplusは取付け条件や偏心荷重、さらに振動、衝撃荷重、温度変動などの外的要因に左右されることなく、最大±0.2角度秒というシステム精度を実現します。これにより精度と性能の両方が向上し、精度を犠牲にせずにモータの回転速度を上げることができます。

MRP 8081 Dplusの4個の走査ヘッドは、高精度な角度測定に加えてラジアルガイド精度も測定します。将来的には4個の走査ヘッドを分析する特別な電子回路により、ラジアルガイドの誤差も補正できるようになります。

エレクトロニクス・半導体製造はダイナミックな産業です。HEIDENHAINはオープンタイプエンコーダの継続的な技術開発で、エレクトロニクス・半導体製造の急速な変化に対応しています。例えば、インクリメンタル角度エンコーダERO 2000は、ガルバノスキャナのように設置スペースが限られ、高い動特性を要求されるアプリケーション向けに設計されています。また、非常に高精度で高分解能なERP 1000もあります。さらに4個の走査ヘッドを搭載したERP 1080 Dplusは、角度エンコーダモジュールMRP 8081 Dplusと同じ堅牢性と取付けに関するメリットがあります。

モジュール設計を採用したRSFのリニアエンコーダおよび角度エンコーダは、極めて柔軟にシステムに組み込むことができます。これには、あらゆるコントローラ用の通信インターフェースに対応し、様々な機械設計にも対応できることを意味します。取付け公差が大きく、非常に簡単に取付けられるという長所もあります。RSFの新しい角度エンコーダMCR 16は、信号品質をさらに向上させます。 

NUMERIK JENAのオープンタイプリニアエンコーダLIKgo とLIKselect は、狭い設置スペースや高精度を要求される場合に最適です。

特に標準モデルのLIKgoは、小型・軽量化を実現しています。走査ヘッドの大きさは、わずか28 mm x 13 mm x 7.5 mm、質量はわずか10 gです。

このエンコーダは、新しく開発した2フィールド走査方式を採用し、目盛間隔は20 µm、最高測定分解能は78.125 nmと、非常に高精度で、高い信号品質を実現し、耐環境性にも優れています。

LIKselect は、これらの長所とNUMERIK JENAのKit Lシリーズの強みを組み合わせて、お客様からの個別の要求に合わせた構成が可能なエンコーダを提供できます。