Virtual show | SEMICONDUCTORS & ELECTRONICS

HEIDENHAIN at 第40回 ネプコン ジャパン

開催日時:
2026年1月21日(水)~ 2026年1月23日(金)
10:00~17:00

出展場所:
東京ビッグサイト 東7ホール E33-42

200 nmより優れた位置決め精度を実現

生産装置の精度は、製造される部品の性能において極めて重要な役割を果たします。特に電子機器や半導体製造業界ではその重要性が高まっています。今日のコンピュータチップのメモリ容量や演算能力は、前工程から後工程に至る生産工程において、ハイブリッドボンディングや先端パッケージングを含む、これまで以上に高い精度に依存しています。

アドバンスドパッケージング

精度と生産性を高める、HEIDENHAINのMULTI-DOF技術、そしてポジションコントローラACCURET+とアイソレーションシステムQUIETを搭載したETELの最新ステージ TELICA HPをご紹介します。これらはハイブリッドボンディング、サーモコンプレッションボンディング、ファンアウトアプリケーションにおいて、新たな可能性を切り拓きます。

高性能オートメーション

ガルバノスキャナなどのレーザーアプリケーションにおける動的性能と位置決め精度を高めます。HEIDENHAIN、NUMERIK JENA、RSFのエンコーダとETELのモーションシステムは、設置スペースに制約のある用途を含め、あらゆるアプリケーションに対応する柔軟なソリューションを提供します。

後工程パッケージング

HEIDENHAIN GROUPは、HEIDENHAIN、NUMERIK JENA、RSFのリニアおよび角度エンコーダ、さらにETELのハンドリングソリューションを通じて、高性能なワイヤボンディングおよびダイボンディングプロセスに最適なソリューションを提供し、製造および検査プロセスを加速させます。

精密計測と検査

高精度なプロセスには、ツールセンターポイントにおけるモーション精度の高い装置が求められます。HEIDENHAINは装置の精度を評価するためのツールを提供しており、検査や再校正を可能にします。温度ドリフトとアッベ誤差を補正することで、最適な結果を実現できます

精度と生産性の両立を実現

HEIDENHAINの第40回 ネプコン ジャパンにて、エレクトロニクス・半導体製造のための新しいソリューションをご覧ください

動的な回転軸用のHEIDENHAINオープンタイプエンコーダ: ERO 2000とMULTI-DOF技術を搭載したERP 1080 Dplus

エレクトロニクス・半導体製造はダイナミックな産業です。HEIDENHAINはオープンタイプエンコーダの継続的な技術開発で、エレクトロニクス・半導体製造の急速な変化に対応しています。例えば、インクリメンタル角度エンコーダERO 2000は、ガルバノスキャナのように設置スペースが限られ、高い動特性を要求されるアプリケーション向けに設計されています。また、非常に高精度で高分解能なERP 1000もあります。さらに4個の走査ヘッドを搭載したERP 1080 Dplusは、角度エンコーダモジュールMRP 8081 Dplusと同じ堅牢性と取付けに関するメリットがあります。

QUIET POD: PODベースのアイソレーションシステムで小さな機械から非常に大きな機械まで使用可能

アクティブアイソレーションシステム・低周波スプリングベースのアイソレータ

  • 6自由度(6DOF)を超えるリニアモータベースのアクティブダンピング
  • 最大99 %のフィードフォワード精度
  • 最大4500 kgのペイロード
  • モジュール式でアプリケーションに合わせて拡張可能

メディアライブラリ: 情報豊富で興味深い内容

HEIDENHAIN GROUPの製品スペシャリストによる紹介ビデオとアニメーションをご覧いただくことで、HEIDENHAIN、ETEL、NUMERIK JENA、RSFが提供する半導体エレクトロニクス産業向けソリューションのハイライトを短時間でご理解いただけます。

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半導体・電子機器製造用ソリューションをさらにご紹介します。