Die mehrachsigen TELICA-Plattformen sind speziell entwickelt für Advanced Packaging-Applikationen im Back-end der Halbleiterfertigung: Hybrid Bonding, Thermocompression bonding und Fan-out-Anwendungen. Die neueste Generation der TELICA HP verfügt als vollintegriertes System über eine Dual-Gantry-Architektur in Kombination mit dem QUIET Active Isolation System und der neuesten ACCURET-Steuerungstechnologie von ETEL sowie MULTI-DOF-Längenmessgeräten von HEIDENHAIN. Damit erreicht die TELICA HP bei einem Ausstoß von 5000 UPH eine Grundgenauigkeit von 1 µm, eine Wiederholgenauigkeit genauer als 50 nm am Tool Center Point über einen Verfahrweg von 25 mm und eine Positionsstabilität genauer als 15 nm.

Durchbrechen Sie die Genauigkeitsschallmauer mit der TELICA HP, profitieren Sie von den Lösungen aus der HEIDENHAIN GROUP, die Genauigkeit mit Schnelligkeit, Praxisnutzen und langanhaltender Zuverlässigkeit verbinden.

Ein Winkelmessgerät, das auch Längen messen kann: Das ERO 2900 Dplus bringt die mehrdimensionale Positionserfassung der MULTI-DOF TECHNOLOGY in die Welt der Winkelmessgeräte. Dazu verfügt es über eine zusätzliche Längenspur auf der Teilungstrommel und zwei Abtastköpfe. Entsprechend misst das ERO 2900 Dplus nicht nur die Winkelpositionen einer Achse, sondern kann auch ihren Verfahrweg erfassen – ein entscheidender Vorteil z. B. für den Einsatz in kompakten Bondköpfen, deren komplexe Dreh- und Linearbewegungen so mit nur einem Messgerät erfasst werden können. 

Beim LIP 6000 Dplus befinden sich auf dem Teilungsträger zwei separate Maßverkörperungen. Deren Teilungen sind diagonal mit einem Winkel von +45° bzw. -45° aufgebracht. Ein spezieller Abtastkopf mit jeweils einem Abtastfeld pro Maßverkörperung kann so über die gesamte Messlänge nicht nur die Hauptmessrichtung X, sondern auch die Nebenmessrichtung Y direkt und hochgenau erfassen. Die beiden gemessenen Positionswerte werden über die EnDat 3-Schnittstelle mit nur einem Kabel an die Steuerung übertragen. Das reduziert deutlich die Anzahl der Kabel sowie den Montage-Aufwand und optimiert zugleich das dynamische Verhalten des Bewegungssystems.

Das neue GAP 1081 ist das erste Abstandsmessgerät von HEIDENHAIN. Es ermittelt die Distanz zwischen dem verspiegelten Maßstab und dem Abtastkopf. Damit eignet sich das GAP 1081 einerseits für einfache Positionieraufgaben in vertikaler Richtung. In Kombination mit einem parallel montierten Längenmessgerät wie z. B. dem LIP 6000 Dplus können aber auch kontinuierliche Messungen durchgeführt werden. Dazu stehen bis zu 3 m lange Spiegelmaßstäbe zur Verfügung. Durch die Anordnung von zwei Abtastköpfen auf einem Spiegel erfasst das GAP 1081 Neigen und Kippen der jeweiligen Achse.