MULTI-DOF Technologie: Genauer als 200 nm positionieren
Die Genauigkeit von Produktionsanlagen ist vor allem in anspruchsvollen Applikationen der Halbleiter- und Elektronikindustrie ausschlaggebend für die Leistungsfähigkeit der hergestellten Komponenten. So resultiert die heutige Rechen- und Speicherkapazität von Computerchips im Wesentlichen aus der immer höheren Genauigkeit im Front-End und bei der weiteren Verarbeitung im Back-End, z.B. beim Advanced Packaging und Hybrid Bonding.
WINGLET Software
Hochkomplexe Motionsysteme ganz einfach optimieren – dafür hat ETEL die Software WINGLET entwickelt. Ob bei der Inbetriebnahme oder zur Prüfung und Nachjustage während des Einsatzes in Anlagen zur Fertigung von Halbleitern und Elektronikbauteilen stellt sie das perfekte Setup des Systems für maximale Performance sicher.
CHARON2 HD und Z3TM+
Mehr Produktivität auf einem höheren Genauigkeitslevel ermöglicht das hochdynamische Motionsystem CHARON2 HD zusammen mit dem Z3TM+ Modul. Die Kombination bietet unter anderem eine Bewegungssteuerung in sechs Freiheitsgraden und eine spezielle Auswerfertechnik zum leichteren Abheben von Wafern.