Virtuelle Messe | SEMICONDUCTORS & ELECTRONICS

HEIDENHAIN auf der SEMICON: Empower Technology

Die HEIDENHAIN GROUP ist Ihr Partner für Lösungen,
die Genauigkeit mit Schnelligkeit, Praxisnutzen und langanhaltender Zuverlässigkeit vereinen.

Durchbrechen Sie mit uns die Genauigkeitsschallmauer.
Entdecken Sie unsere zukunftsweisenden Entwicklungen,
die den N+1 Technologieknoten ermöglichen.

SEMICON Taiwan: 10. – 12. September 2025
SEMICON West:7. – 9. Oktober 2025
Digital SEMICON EVENT:  27. – 31. Oktober | 10. – 14. November 2025

MULTI-DOF Technologie: Genauer als 200 nm positionieren

Die Genauigkeit von Produktionsanlagen ist vor allem in anspruchsvollen Applikationen der Halbleiter- und Elektronikindustrie ausschlaggebend für die Leistungsfähigkeit der hergestellten Komponenten. So resultiert die heutige Rechen- und Speicherkapazität von Computerchips im Wesentlichen aus der immer höheren Genauigkeit im Front-End und bei der weiteren Verarbeitung im Back-End, z.B. beim Advanced Packaging und Hybrid Bonding.

WINGLET Software

Hochkomplexe Motionsysteme ganz einfach optimieren – dafür hat ETEL die Software WINGLET entwickelt. Ob bei der Inbetriebnahme oder zur Prüfung und Nachjustage während des Einsatzes in Anlagen zur Fertigung von Halbleitern und Elektronikbauteilen stellt sie das perfekte Setup des Systems für maximale Performance sicher.

CHARON2 HD und Z3TM+

Mehr Produktivität auf einem höheren Genauigkeitslevel ermöglicht das hochdynamische Motionsystem CHARON2 HD zusammen mit dem Z3TM+ Modul. Die Kombination bietet unter anderem eine Bewegungssteuerung in sechs Freiheitsgraden und eine spezielle Auswerfertechnik zum leichteren Abheben von Wafern.

So viel Genauigkeit erreichen Sie mit einem Messgerät, das bis zu 6 Freiheitsgrade erfasst

Entdecken Sie Messgeräte wie das LIP 6000 Dplus oder das neue GAP 1000, die nicht nur in ihrer Hauptmessrichtung die Position ermitteln, sondern auch Veränderungen in weiteren Freiheitsgraden messen. Diese zusätzlich erfassten Daten sorgen für eine deutlich höhere Genauigkeit der Messung. Denn sie machen Abweichungen in anderen Messrichtungen sichtbar, die sich auf das komplette System auswirken und jetzt dank MULTI-DOF TECHNOLOGY kompensiert werden können.

PP 6000: Zwei Hauptmessrichtungen für mehr Genauigkeit

Mit dem Zwei-Koordinaten-Messgerät PP 6000 messen Sie die Position simultan in zwei Hauptmessrichtungen mit nur einem Abtastkopf – und das in einem Messbereich von bis zu 464 mm x 464 mm im Standard, auf Wunsch sogar darüber hinaus. So können Sie den Abbe-Fehler durch direktes Messen am Tool Center Point minimieren und die Maschinengenauigkeit erhöhen. Ihr Vorteil: Sie verbessern vor allem die Reproduzierbarkeit und die Schnelligkeit des Fertigungsprozesses. Die Übertragung der beiden gemessenen Positionswerte an die Steuerung erfolgt über die EnDat 3-Schnittstelle mit nur einem Kabel. Das reduziert den Verkabelungs- und Montageaufwand deutlich, gleichzeitig wird das dynamische Verhalten des Bewegungssystems optimiert.

Neu

LIP 6000 Dplus – 1 Maßstab, 1 Abtastkopf, 2 Freiheitsgrade

Beim LIP 6000 Dplus befinden sich auf dem Teilungsträger zwei separate Maßverkörperungen. Deren Teilungen sind diagonal mit einem Winkel von +45° bzw. -45° aufgebracht. Ein spezieller Abtastkopf mit jeweils einem Abtastfeld pro Maßverkörperung kann so über die gesamte Messlänge nicht nur die Hauptmessrichtung X, sondern auch die Nebenmessrichtung Y direkt und hochgenau erfassen. Die beiden gemessenen Positionswerte werden über die EnDat 3-Schnittstelle mit nur einem Kabel an die Steuerung übertragen. Das reduziert deutlich die Anzahl der Kabel sowie den Montage-Aufwand und optimiert zugleich das dynamische Verhalten des Bewegungssystems.

Genauigkeit vor Ort sicherstellen: Mit dem Kalibriertool auf Basis des LIP 6000 Dplus

Das auf Basis des LIP 6000 Dplus entwickelte Kalibriertool können Sie nutzen, um Ihre Systeme jederzeit zu prüfen und nachzujustieren. Weil solch eine Kalibrierung Ihrer Maschinen und Anlagen keine tägliche Aufgabe ist, die die teure Investition in ein eigenes Tool und vor allem dessen ständige Wartung und Justierung lohnt, bietet HEIDENHAIN das Kalibriertool im Rahmen seines Services auch als Leihmodell an. So können Sie einfach bei Bedarf und mit einem zertifizierten Tool die Genauigkeiten Ihrer Systeme gewährleisten.

Neu

GAP 1081 – Out-of-Plane-Abstandsmessung

Das neue GAP 1081 ist das erste Abstandsmessgerät von HEIDENHAIN. Es ermittelt die Distanz zwischen dem verspiegelten Maßstab und dem Abtastkopf. Damit eignet sich das GAP 1081 einerseits für einfache Positionieraufgaben in vertikaler Richtung. In Kombination mit einem parallel montierten Längenmessgerät wie z. B. dem LIP 6000 Dplus können aber auch kontinuierliche Messungen durchgeführt werden. Dazu stehen bis zu 3 m lange Spiegelmaßstäbe zur Verfügung. Durch die Anordnung von zwei Abtastköpfen auf einem Spiegel erfasst das GAP 1081 Neigen und Kippen der jeweiligen Achse.

Where accuracy meets throughput
Entdecken Sie beim HEIDENHAIN Semiconductor Event 2025
neue Lösungen für mehr Genauigkeit und Produktivität
in der Halbleiter- und Elektronikfertigung.

Belastbare Achsen – Unbeeinflusst von Rastmomenten und Querkräften

Die Kombination aus dem HEIDENHAIN-Winkelmessmodul MRP mit einem Torquemotor von ETEL ermöglicht eine außerordentlich gleichmäßige Bewegungsführung. Weder störende Rastmomente noch Querkräfte beeinflussen die hohe Führungsgenauigkeit der Lagerung. Außerdem steht mit den Winkelmessmodulen vom Typ SRP 5000 ein besonders kompaktes System mit geringer Bauhöhe und hoher Steifigkeit zur Verfügung. Gerade durch die hohe Steifigkeit aller Komponenten bleibt die Genauigkeit auch bei wechselnden Belastungsfällen erhalten.

Offene HEIDENHAIN Messgeräte für hochdynamische Rundachsen:
ERO 2000 und – neu mit MULTI-DOF TECHNOLOGY – ERP 1080 Dplus

Die Halbleiter- und Elektronikindustrie ist eine hochdynamische Branche. Den rasanten Veränderungen trägt HEIDENHAIN mit entsprechenden Entwicklungen im Bereich der offenen Messgeräte Rechnung. So ist das inkrementale Winkelmessgerät ERO 2000 entstanden: speziell für Anwendung mit sehr kleinem Einbauraum und zugleich hohen dynamischen Anforderungen, wie sie z. B. Galvanoscanner stellen. Oder das ERP 1000 mit seiner sehr hohen Genauigkeit und Auflösung, das als ERP 1080 Dplus mit vier Abtastköpfen dieselben Vorteile bei Anbau und Robustheit bietet wie das Winkelmessmodul MRP 8081 Dplus, jedoch ohne integriertes Lager.

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