High-end Automation

Virtuelle Messe | SEMICONDUCTORS & ELECTRONICS

Mehr Performance für die High-end-Automation

Hohe Produktivität erfordert Dynamik, Prozesse im Nanometerbereich erfordern höchste Genauigkeit.
Messgeräte von HEIDENHAIN, NUMERIK JENA oder RSF und Bewegungssysteme von ETEL vereinen beide Anforderungen und bieten Praxisnutzen und langanhaltender Zuverlässigkeit.

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Empower Technology
Higher performance for the semiconductor and electronics industry

Die HEIDENHAIN GROUP ist Ihr Partner für Lösungen,
die Genauigkeit mit Schnelligkeit, Praxisnutzen und langanhaltender Zuverlässigkeit vereinen.

Durchbrechen Sie mit uns die Genauigkeitsschallmauer.
Entdecken Sie unsere zukunftsweisenden Entwicklungen,
die den N+1 Technologieknoten ermöglichen.

Digital SEMICON EVENT: 27. – 31. Oktober | 10. – 14. November 2025

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Ultra-kompakte Messgeräte für Galvoscanner:
Höchste Dynamik auf kleinstem Raum

Hochgenaue Rundachsen – Hohe Auflösung und Genauigkeit in Ihrer Messeinrichtung

Die modularen Winkelmessgeräte der Baureihe ERO 2000 von HEIDENHAIN eignen sich durch ihre geringe Masse und ihr geringes Massenträgheitsmoment besonders für sehr dynamische Anwendungen mit hohen Beschleunigungen. Für größere Achsen stehen die modularen Winkelmessgeräte der Baureihe ERP 1000 von HEIDENHAIN als Alternative zur Wahl.

Bei beiden Lösungen stellt der von HEIDENHAIN entwickelte ASIC HSP 1.0 die konstant hohe Güte der Abtastsignale sicher. Außerdem sind sie dank großzügiger Toleranzen besonders montagefreundlich. Dabei wird die Qualität der Ausgangssignale innerhalb der Toleranzen kaum beeinflusst.

Die besonders kleine ERO-Baureihe im Detail Die ERP-Baureihe für größere Achsen im Detail

Maximale Flexibilität – Modulare Messgeräte für Ihre kundenspezifische Lösung

Sie suchen maximale Flexibilität bei der Integration von Längen- und Winkelmessgeräten in Ihre Systeme? Dann sind die Lösungen von RSF mit ihrem modularen Aufbau die richtige Lösung. Wählen Sie aus einer großen Vielfalt an Schnittstellen zu allen gängigen Steuerungen oder aus zahlreichen mechanischen Ausführungen. Sie profitieren immer von großen Montagetoleranzen und einem sehr einfachen Anbau der Messgeräte.

Längen und Winkel messen mit RSF

MCR 15 (absolut) und MSR 15 (inkrementell) mit Teilungstrommeln von 50 mm bis 350 mm Außendurchmesser sind modulare Winkelmessgeräte zur Lage- und Drehzahlregelung elektrischer Antriebe
MC 15 ist ein absolutes offenes Längenmessgerät, das bei Messlängen bis 10 000 mm in Messschritten von bis zu 50 nm ohne Referenzierungsfahrt hochgenau positioniert
MS 15 ist ein offenes Längenmessgerät mit modularem Aufbau. Dadurch können Sie verschiedene Teilungsträger bis max. 20 000 mm Länge und verschiedene Abtastköpfe mit Messschritten von 10 µm bis zu 50 nm individuell und perfekt passend für Ihre Aufgaben zusammenstellen – inklusive einer in die Maßstabbreite integrierbaren optischen Homing- und Limitfunktion.
MS 14 ist ein offenes Längenmessgerät mit Einfeldabtastung. Durch seine Online-Signalstabilisierung und die Anzeige der Signalgüte direkt am Abtastkopf über eine 3-farbige LED-Funktion ermöglicht es eine permanente Kontrolle der Abtastsignale über die gesamte Messlänge von max. 10 000 mm. Dabei bietet es Messschritte von 10 µm bis 50 nm und hohe Verfahrgeschwindigkeiten bis 10 m/s.

Ultrakleine Längenmessgeräte: LIKgo and LIKselect von NUMERIK JENA

LIKgo und LIKselect: Die beiden offenen Längenmessgeräte von NUMERIK JENA eignen sich besonders für den Einsatz in beengten Einbausituationen. Und erfüllen hohe Genauigkeitsanforderungen.

Das Standardprodukt LIKgo ist besonders klein und leicht, sein Abtastkopf ist nur 28 mm x 13 mm x 7,5 mm groß und wiegt nur 10 g. Die neu entwickelte 2-Feld-Abtastung ist mit 20 µm Teilungsperiode und Messschritten bis 78,125 nm sehr genau, liefert eine hohe Signalqualität und ist sehr robust gegenüber Verschmutzungen.

Für kundenspezifische Auslegungen ergänzt das LIKselect diese Vorteile um die Stärken der Kit L-Serie von NUMERIK JENA: Messgeräte aus dem LIKselect-Baukasten sind im besonderen Maße individuell konfigurierbar.

Die neue LIK-Generation von NUMERIK JENA

LIC 3000 – Das offene HEIDENHAIN Messgerät für hochdynamische Linearachsen

Die Baureihe LIC 3000 erweitert das bereits bekannte Programm der offenen, absoluten Längenmessgeräte LIC 4000 und LIC 2000. Dafür kombiniert das LIC 3000 sehr kleine Messschritte von 10 nm mit hohen Verfahrgeschwindigkeiten bis 600 m/min. So ermöglichen die LIC 3000-Längenmessgeräte die sehr dynamische und zugleich hochgenaue Positionsmessung an Linearachsen mit Messlängen bis 10 m.

Das große Abtastfeld macht das LIC 3000 dabei besonders unempfindlich gegenüber Verschmutzungen. Lokale Verunreinigungen der Maßverkörperung haben kaum Einfluss auf die Signalqualität und somit auf die Zuverlässigkeit der Messwerte. Durch ihre Dynamik, die großen Messlängen und die Robustheit sind die offenen Längenmessgeräte der Baureihe LIC 3000 besonders flexibel in der Anwendung und machen die LIC-Vorteile in weiteren Applikationen nutzbar.

Alle Infos zur Baureihe LIC 3100

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